北京宏申实信科技有限公司网站

光学产品/

光学产品

MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米量级，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
随着MEMS的日益发展，显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌，是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。

技术规格：

点直径*

大约10um

频率响应范围*

DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz

测量速度范围
法向*
50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s

切向* 150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s

滤波设置

高通、低通滤波设置

显微镜

目镜
放大倍率 W.D
光束直径

5X 34mm 30um

10X 34mm 20um

20X/50X 20mm/13mm 10um/2um

X-Y平台

尺寸
100X100mm

移动范围
+/-10mm

分辨率
0.001mm

*可根据客户要求，并可为客户定制

点直径*		大约10um
频率响应范围*		DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz
测量速度范围	法向*	50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s
	切向*	150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s
滤波设置		高通、低通滤波设置
显微镜
目镜	放大倍率	W.D	光束直径
	5X	34mm	30um
	10X	34mm	20um
	20X/50X	20mm/13mm	10um/2um
X-Y平台
尺寸	100X100mm
移动范围	+/-10mm
分辨率	0.001mm